Методы межоперационного и финишного контроля функциональных и технологических слоев микро- и наноструктур

60 дней
Учебный курс для обучения работников компаний наноиндустрии, посвящённый эллипсометрии и  зондовые методы анализа
Стоимость обучения
Бесплатно
Тема
Микроэлектроника, Профстандарт
Формат
Курс
Уровень
Базовый
Тип обучения
Самостоятельно

Описание курса

Курс предназначен для самоподготовки в формате e-learning специалистов наноиндустрии, относящихся к категории инженер – технолог.

В целях последующего прохождения оценки и сертификации квалификаций в рамках профессионального стандарта «Производство наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем с использованием нанотехнологий» по разделу "Методы межоперационного и финишного контроля функциональных и технологических слоев микро- и наноструктур".

В процессе обучения предлагается решать задания нескольких лабораторных работ:

1. Эллипсометрия. Знакомство с прибором. Типичные измерения
2. Эллипсометрия. Проведение картирования
3. Эллипсометрия. Исследование многослойных структур
4. Эллипсометрия. Исследование структур с учетом моделирования шероховатости
5. Зондовые методы анализа. Изучение устройства и принципов работы растрового электронного микроскопа
6. Зондовые методы анализа. Энергодисерсионный рентгеновский микроанализ
7. Зондовые методы анализа. Исследование топографии поверхности твердых тел методом СЗМ в контактном режиме
8. Зондовые методы анализа. Исследование топографии поверхности
9. Зондовые методы анализа. Использование дополнительных методик при изучении объектов
10. Зондовые методы анализа. Четырехзондовый метод измерения электрического сопротивления полупроводниковых материалов и тонких металлических слоев

Выдаем документ об окончании

Электронный сертификат АНО "еНано"

Вы будете

Слушать видеолекции

Проходить тестирование

Программа курса

Эллипсометрия

  • Введение. Основные понятия
  • Коэффициенты Френеля
  • Поляризованный свет
  • Методы решения обратной задачи
  • Определение сходимости модели по χ2
  • Точность определения параметров системы
  • Ошибки и погрешности
  • Представление моделируемых материалов
  • Аппаратура
  • Современная элипсометри

Зондовые методы анализа


  • Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ
  • Измерение линейных размеров методом растровой электронной микроскопии
  • Измерение линейных размеров методом растровой электронной микроскопии
  • Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ
  • Возможности и общие принципы методов контроля микрорельефа поверхности
  • Особенности зондов и сканнеров, используемых для контроля микрорельефа
  • Влияние атмосферы и других внешних факторов на результаты исследования
  • Обзор существующих приборов
  • Контактные зондовые методы исследования поверхности
  • Полуконтактные и бесконтактные методы исследования поверхности
  • Примеры и особенности использования методов зондового контроля микрорельефа поверхности
  • Исследование свойств поверхности
  • Методы измерения электрического сопротивления полупроводниковых материалов


Цифровые навыки

01

Практические навыки работы с системой дистанционного обучения

02

Освоение на практике правил работы с электронным курсом в слайдовом и/или видеоформате

03

Опыт составления информационных запросов и поиска необходимой информации

Мобильное приложение edunano.ru

Проходить обучение стало ещё удобнее: смотрите видео, проходите тесты, участвуйте в вебинарах, регистрируйтесь на мероприятия с вашего смартфона
Спасибо, ваша заявка принята!
Мы свяжемся с вами в ближайшее время.
Оставить заявку
{{errors.last_name|formatError}}
{{errors.first_name|formatError}}
{{errors.middle_name|formatError}}
{{errors.email|formatError}}
{{errors.phone|formatError}}
{{errors.promocode|formatError}}
{{errors.text|formatError}}
Отправляя заявку, я соглашаюсь на обработку персональных данных
Спасибо, ваша заявка принята!
Мы свяжемся с вами в ближайшее время.
Получите консультацию
и скидку на обучение
Мы свяжемся с вами и дадим ответы на все вопросы, расскажем, как воспользоваться скидкой.
{{errors.email|formatError}}
Или
{{errors.phone|formatError}}
Отправляя заявку, я соглашаюсь на обработку персональных данных
Спасибо, ваша заявка принята!
Мы свяжемся с вами в ближайшее время.
Мы на связи!