Технология нанолитографии

60 дней

Курс поможет подготовить работников компаний наноиндустрии к процедуре сертификации по теме: Технология нанолитографии

Стоимость обучения
Бесплатно
Тема
Микроэлектроника, Технологии, Профстандарт
Формат
Курс
Уровень
Базовый
Тип обучения
Самостоятельно

Описание курса

Курс предназначен для самоподготовки в формате e-learning специалистов наноиндустрии, относящихся к категории инженер – технолог, в целях последующего прохождения оценки и сертификации квалификаций в рамках профессионального стандарта «Производство наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем с использованием нанотехнологий» по разделу "Технология нанолитографии".

Курс содержит видеолекции, тестирование для самопроверки усвоения материала, проектное задание и лабораторные работы:

  • проведение процесса нанесения слоя фоторезиста на поверхность кремниевой пластины методом центрифугирования;
  • проведение процесса формирования фоторезистивной защитной маски с требуемой топологией и размерами элементов под заданный функциональный слой интегральной структуры на кремниевой пластине;
  • исследование процесса формирования топологического рисунка в функциональном слое методом реактивного ионного травления. Изучение теоретических сведений и практических демонстрационных видеоматериалов;
  • исследование процесса формирования топологического рисунка в функциональном слое методом реактивного ионного травления. Изучение теоретических сведений и практических демонстрационных видеоматериалов;
  • технология наноимпринт литографии.


Будет полезно

Инженерам-технологам

Выдаем документ об окончании

Электронный сертификат АНО "еНано"

Вы будете

Слушать видеолекции

Проходить тестирование

Программа курса

01 Основные определения, роль и место процессов нанолитографии в технологических маршрутах производства интегральных приборов, схем и систем с нанометровыми топологическими нормами
02 Основные виды процессов нанолитографии, используемых в процессе производства интегральных приборов, схем и систем с субстананометровыми топологическими нормами
03 Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии и процессов) оптической нанолитографии. Состав и основные принципы построения комплекса современного оборудования оптической нанолитографии
04 Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии и процессов) наноимпринт литографии. Состав и основные принципы построения комплекса современного оборудования наноимпринт литографии
05 Тенденции развития процессов нанолитографии для производства интегральных приборов, схем и систем с субстананометровыми топологическими нормами
06 Оборудование оптической нанолитографии и наноимпринт литографии, его операционные параметры и конструкционно-технологические характеристики
07 Комплектующие изделия и материалы, используемые в оборудовании и технологии (технике) оптической нанолитографии и наноимпринт литографии, и принципы выработки требований к ним
08 Принципы отработки режимов процессов оптической нанолитографии и наноимпринт литографии
09 Методы и оборудование контроля дефектов в процессах оптической нанолитографии и наноимпринт литографии
10 Тенденции развития процессов нанолитографии для производства интегральных приборов, схем и систем с субстананометровыми топологическими нормами

Цифровые навыки

01

Практические навыки работы с системой дистанционного обучения

02

Освоение на практике правил работы с электронным курсом в слайдовом и/или видеоформате

03

Опыт составления информационных запросов и поиска необходимой информации

Авторы

КИРЕЕВ В.Ю

Мобильное приложение edunano.ru

Проходить обучение стало ещё удобнее: смотрите видео, проходите тесты, участвуйте в вебинарах, регистрируйтесь на мероприятия с вашего смартфона
Спасибо, ваша заявка принята!
Мы свяжемся с вами в ближайшее время.
Оставить заявку
{{errors.last_name|formatError}}
{{errors.first_name|formatError}}
{{errors.middle_name|formatError}}
{{errors.email|formatError}}
{{errors.phone|formatError}}
{{errors.promocode|formatError}}
{{errors.text|formatError}}
Отправляя заявку, я соглашаюсь на обработку персональных данных
Спасибо, ваша заявка принята!
Мы свяжемся с вами в ближайшее время.
Получите консультацию
и скидку на обучение
Мы свяжемся с вами и дадим ответы на все вопросы, расскажем, как воспользоваться скидкой.
{{errors.email|formatError}}
Или
{{errors.phone|formatError}}
Отправляя заявку, я соглашаюсь на обработку персональных данных
Спасибо, ваша заявка принята!
Мы свяжемся с вами в ближайшее время.
Мы на связи!